O controlo da humidade na produção de semicondutores destina-se a impedir a acumulação de cargas estáticas e as distorções dimensionais na superfície da “bolacha” de silício e no arrefecimento ambiente do espaço da produção.

Qualquer descarga eléctrica não controlada que ocorra durante a produção pode danificar a superfície dos semicondutores e reduzir significativamente o rendimento da produção. O processo de fabrico produz calor, e este, por sua vez, conduz à secagem do ar. Como ar seco facilita a acumulação de cargas estáticas, os humidificadores são utilizados para controlar a humidade atmosférica em valores próximos de 55% HR. Este humedecimento do ar promove a dissipação natural das cargas eléctricas e elimina a danificação da superfície dos semicondutores.

No entanto, as superfícies impressas das "bolachas" de silício são também muito sensíveis à humidade. Os caminhos condutores na superfície dos circuitos podem ficar distorcidos se forem expostos a níveis de humidade incorrectos. É assim necessário um controlo muito rigoroso da humidade para ±0,1 °C da temperatura de orvalho num período de 40 minutos. Qualquer variação superior a este valor provoca a danificação dos caminhos condutores e a ruína do semicondutor.

Os humidificadores de vapor, como o Neptronic SKE, podem assegurar este nível de precisão, quando utilizados em conjunto com um filtro de água PureFlo RO (osmose inversa).

Apesar de os modelos de vapor poderem assegurar um controlo rigoroso da humidade, podem também ser utilizados humidificadores de aspersão de água fria, como o JetSpray, já que a evaporação da água nebulizada cria um efeito de arrefecimento adiabático. Este arrefecimento contribui para o arrefecimento do ar durante as operações de fabrico e reduz as necessidades de arrefecimento mecânico.

A JS Humidifiers pode fornecer humidificadores JetSpray especialmente fabricados para a indústria de fabricação de semicondutores equipados com uma válvula de controlo de precisão, para um controlo mais rigoroso e consistente. O sistema não fornece apenas arrefecimento mas funciona também com custos de operação muito mais reduzidos, devido ao consumo exclusive de água fria.

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